公司介绍

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司是中芯国际的合资公司。IGBT平台从2015年开始建立，着眼于最新一代场截止型 (FIELD  STOP)IGBT结构，采用业界最先进及主流的背面加工工艺，包括TAIKO 背面减薄工艺、湿法刻蚀工艺、离子注入、背面激光退火及背面金属沉积工艺等。已完成整套深沟槽 (DEEP TRENCH)+薄片 (THIN WAFER)+场截止 (FIELD-STOP)技术工艺的自主研发，并相应推出600V~1200V 等器件工艺，技术参数可达到业界领先水平。

主营业务

MEMS，MOSFET，IGBT

项目介绍

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司DWWA、有机系废水回收水处理系统

纯水水量

1. DIW消耗量：20m³/H

2. ROW消耗量：50m³/H

3. UPW消耗量：200m³/H

4. LSW消耗量：80m³/H

水质介绍

● UPW电阻率 ≥18.2MΩ.CM@25℃

● 温度：23±1℃

● 压力 4-5MPA

● 8INCH SPEC.IN